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第521章 步进扫描光刻机

作品:归国留洋水货?叫我芯片之父!作者:这肉有毒
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这东西如今对国内而言,理论上的研制难度不高。

国内如今的工业技术积累,初步的产品研制不是问题,难的是对技术的整合与设计,如同他最早的六灯管收音机一般。

又因为国内本身暂无民用空调的市场,对薛福根而言其实设计难度会更高。

沈永健也尽可能替他开拓思路,将大致的空调想法托出。

尤其是日后的变频空调,也尽可能地先让薛福根有个印象。

一旁的曹俊原本也竖起耳朵听着,不过因为不明白的地方太多,很快就云里雾里,完全听不进去。

又是一个多小时。

屋内墙壁上挂载的几台高精度测控仪上,传感器数值一直在微微跳动。

起初,温度曲线还在小幅波动,但随着涡旋式压缩机的持续平稳运转,数字渐渐趋于平缓。

“21.61℃…21.65℃…22.01℃…”

温度算是屋内环境最重要的一项指标,直至稳定在22度左右开始停下,上下起伏在0.02度之间,湿度计也稳定在48%,这台精密空调机组算是达到预期。

边上的空气洁净度检测仪上,微小颗粒物的数值也再度直线下降,这让钱田宝与曹俊二人也松了口气。

两次试验,两次都没掉链子。

一切调试结束,沈永健也留在厂里陪大家吃晚饭。

厂里的小灶师傅似乎早就有准备,必不可少的红烧肉外,其他菜色也很丰富。

…

一连又是三天的测试。

空调机组与空气系统机组都完全符合预期。

沈永健也再次前来厂里,进行最后的光刻机升级工作。

车间外的审核与保卫同志多了好几位,正严格检查着入车间观摩的人员。

主要就是多了几位技术部和研发处的优秀骨干。

这也是沈永健专门提的,光刻机技术保密要求高不假,但对于核心培养的技术人员还是要放宽。

前两代的光刻机升级研制属于特殊,毕竟当时研究微电子的也就那么些人,真正能看懂光刻机大致理论的人都寥寥无几,也没什么必要。

如今微电子厂主要进行集成电路的光刻生产,这些年下来也有一批优秀的同志脱颖而出。

对于改进新一代光刻机的观摩机会,沈永健自是希望新的同志能好好实际感受学习,而不是停留在纸面上。

且这次连带微电子所本身也来了好几位

…。。
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