总有一种办法,可以突破现在的瓶颈。
可惜,李云海前世并不是做光刻机的。
他对具体的光刻机技术,只知其一,不知其二。
听纪文姝谈及到具体的科研困难,李云海忽然想到了什么,问道:“现在的研究,是基于157nm波长?对吗?”
纪文姝道:“是的,李总,我们现在要做的,就是突破157nm波长。可是在157nm波长下,水是不透明的液体,我们很难得到想要的折射率。”
李云海用手指轻轻敲击额头,说道:“不对!不对!”
纪文姝道:“李总,哪里不对了?你头痛吗?要不要帮你按按?”
李云海却陷入了回忆和沉思。
重生过来十年了!
前世的记忆,对他来说,变得越来越稀薄,也越来越不重要。
他的整个身心,都完全的融入到了现在这个世界。
前世的相关记忆,只有十分特别的,他才会记起来。
人的记忆是很神奇的东西。
可能前几天发生的事情,很快就被忘记。
但小时候那些独特的事件,却一直记忆犹新。
大脑像是一个独立的存在,它只记下那些它感兴趣的事情。
李云海忽然说道:“纪总,不应该基于157nm波长,而应该是193nm的波长!”
纪文姝不解的问道:“什么意思?”
李云海道:“浸润式光刻机,最重要的一点,不是基于157nm波长!而是193nm的波长!”
纪文姝沉吟道:“193nm的波长?为什么?我们现在明明可以突破到153nm波长啊!难道还要从193nm波长开始?”
李云海道:“你说得对,在157nm波长下,水是不透明的液体。但是对于193nm的波长则是几乎完全透明的。并且水在193nm的折射率高达1.44,而可见光只有1.33。”
纪文姝双眼一亮,她是个聪明人,提头知尾,马上就想到了这个方案的可行性。
李云海道:“如果把水这样一种相当理想的浸入液,配合已经十分成熟的193nm光刻设备,那么我们只需要做较小的改进,重点解决与水浸入有关的问题,193nm水浸式光刻机就近在咫尺了。同时,193nm光波在水中的等效波长缩短为134nm,足可超越157nm的极限。”
纪文姝不由得拍手叫好:“李总,你太
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